A legfontosabb különbség a PVD és a CVD között az, hogy a PVD-ben lévő bevonóanyag szilárd, míg CVD-ben gáz alakú.
A PVD és a CVD olyan bevonási technika, amelyet felhasználhatunk vékony filmek különböző hordozókra történő lerakására. A szubsztrátok bevonata sok esetben fontos. A bevonat javíthatja az aljzat funkcionalitását; új funkciók bevezetése az aljzatra, védelem a káros külső erőktől stb., így ezek fontos technikák. Bár mindkét folyamat hasonló módszerekkel rendelkezik, a PVD és a CVD között kevés különbség van; ezért különböző esetekben hasznosak.