A mikroelemzés és a félmikroanalízis közötti fő különbség az, hogy a mikroanalízist a 10 mg-nál kisebb tömegű anyag elemzésére használják, míg a fél-mikro-elemzéssel a körülbelül 100-500 mg tömegű anyag elemzését használják.
A mikro- és félmikroanalízis kétféle kvalitatív elemzés, amely az anyag elemzése mennyiségük helyett tulajdonságaik alapján. A mikroanalízis olyan anyag elemzésére vonatkozik, amelynek részecskemérete a mikroskálán található. A mikroanalízishez különböző módszerek alkalmazhatók. A fél mikroelemzés viszont egy kidolgozott módszer a mikroanalízishez.
